气相二氧化硅

化学气相沉积(CAV) 法, 又称热解法、 干法或燃烧法。 其原料一般为四氯化硅、 氧气(或空气) 和氢气, 高温下反应而成。 反应式为:
SiCl4+2H2+O2—>SiO2+4HCl

空气和氢气分别经过加压、 分离、 冷却脱水、 硅胶干燥、 除尘过滤后送入合成水解炉。将四氯化硅原料送至精馏塔精馏后, 在蒸发器中加热蒸发, 并以干燥、 过滤后的空气为载体, 送至合成水解炉。 四氯化硅在高温下气化(火焰温度 1000~1800℃) 后, 与一定量的氢和氧(或空气) 在 1800℃左右的高温下进行气相水解; 此时生成的气相二氧化硅颗粒极细, 与气体形成气溶胶, 不易捕集, 故使其先在聚集器中聚集成较大颗粒, 然后经旋风分离器收集, 再送入脱酸炉, 用含氮空气吹洗气相二氧化硅至 PH 值为 4~6 即为成品。(来自网络)

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